Mikromechanik: Mikrofertigung Mit Methoden Der Halbleitertechnologie (Paperback)
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Mikromechanik: Mikrofertigung Mit Methoden Der Halbleitertechnologie (Paperback)

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£64.99
Paperback 501 Pages / Published: 14/06/2012
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Mikromechanik behandelt die physikalischen Grundlagen dieser jungen, zukunftstr chtigen Disziplin, ihre Technologie, aufbauend auf der Siliziumtechnologie, und ihre Nutzung in den verschiedensten Anwendungen der Bereiche Sensorik, Aktuatorik und integrierte Optoelektronik. Das Buch ist unentbehrlich f r jeden, der sich intensiv mit der Mikromechanik befassen will; f r den Studierenden ebenso wie f r den Ingenieur in der Praxis oder den interessierten Laien.

Publisher: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
ISBN: 9783642466229
Number of pages: 501
Weight: 826 g
Dimensions: 244 x 170 x 27 mm
Edition: Softcover Reprint of the Original 1st 1989 ed

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